技術：氣動隔膜

特性：

專為半導體行業設計
非金屬，流體通道內無O型圈
滲流設計
無金屬固定件，如拉桿或支架
有集成脈動均衡器可選
100級凈室內組裝

技術數據：

機加工的塑料設計，有聚乙烯（PE）和聚四氟乙烯（PTFE）兩種材質
優化的聚四氟乙烯（PTFE）隔膜技術
五種尺寸：從10mm（3/8"）到38mm（1-1/2"）
NPT接口
最高耐受溫度：200° C（390°F）
精確的流體輸送

性能數據：

最大流量：200lpm（52gpm）
最大吸程：干吸4m（13.1'），濕吸9m（29.5'）

認證組織：